Research

2023年春の研究室配属学部学生向けの研究室紹介動画です(4min, ご注意：再生すると音声が流れます)

当研究室では，機械工学，特に生産工学・加工学に資する精密計測・制御に関する以下の研究を展開しています．
This laboratory is dedicated to the research of precision measurement and control contributing to production engineering, while focusing on the following activities:

• レーザ光を用いた精密変位センサ・角度センサの開発
  Development of optical sensors for displacement/angle measurement
• 角度情報を利用した表面微細形状評価手法の開発
  Development of evaluation methods of micropattern structures based on angle measurement
• 光干渉定在波転写による大面積マイクロパターンアレイの創成
  Fabrication of a large-area micro pattern array based on laser interference lithography
• フェムト秒レーザ光源を用いた表面形状計測
  Form measurement with a mode-locked femtosecond laser source
• マイクロ薄膜センサを用いたセンシング技術の開発
  Development of a sensing technique with a thin-film micro sensor

推進中の研究テーマ Ongoing projects

• 次世代「つながる」超精密光計測学構築への挑戦 (JST 創発的研究支援事業・代表者・令和4-7年度(フェーズ2))
  Challenge to the next-generation ultra-precision optical metrology (JST FOREST project)
• その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμｍ級自由微細構造の大面積露光創成
  (科学研究費 基盤研究(B)・代表者・令和4-6年度)
• 光コムレーザから創出する「光のものさし」バーチャル絶対スケールによる絶対位置計測
  (科学研究費 挑戦的研究(萌芽)・代表者・令和5-7年度)